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Semiconductor/Deposition

[단위공정/Deposition] 진공펌프의 종류 4가지와 동작 매커니즘

by 겨울 빛 2022. 2. 4.



Cryo pump는 증기압 차이를 이용하여 한 펌프내에 다양한 물질을 동시에 응축시킴




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