[단위공정/Etching] 건식식각의 종류 2022. 2. 5. [단위공정/Deposition] 진공기술과 주요 물리량 2022. 2. 5. [단위공정/Deposition] 진공펌프의 종류 4가지와 동작 매커니즘 Cryo pump는 증기압 차이를 이용하여 한 펌프내에 다양한 물질을 동시에 응축시킴 2022. 2. 4. [단위공정/Deposition] CVD시 분자 운동식, Graph 물리량, 단위 Hg [Cm/s]: mass transfer coefficient Ks [Cm/s]: Surface reaction rate Cg [#/Cm3]: Bulk gas concentration Cs [#/Cm3]: Surface gas concentration F [#/Cm2•s]: Flux δ [Cm]: Boundary layer 2022. 2. 1. 이전 1 다음
