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[집적회로] CMOS Equivalent Size Determination (NAND, NOR) 중간고사 이전에 배웠던 CMOS 기본적인 것들에 대해 적어두려고 했으나 게으름뱅이라 결국 중간 끝나고 놀기만 했다. 늦었지만.. 일단 뒷부분 중요한 부분 먼저 적어두고 방학때 앞부분 복습할 겸 다시 써보도록 하겠다. 복잡한 CMOS 회로를 간단하게 등가적인 inverter size로 바꾸어서 성능을 판단할 수 있다. 우선, 저항은 W/L에 반비례한다. 따라서, 각각의 W/L의 역수를 취해서 등가저항을 계산한뒤 다시 역수를 취하는 번거로운 과정(?) 을 반복하고 나면 Equivalent W/L을 얻을 수 있다. 여기서 주의할 점은, Parallel 에서는 계산 상으로는 (W/L)eq 가 3이 나왔지만 실제 스펙으로 사용할때는 둘 중 더 안좋은 값을 써야 한다는 것이다. (가장 안좋은 성능을 spec으로 내.. 2022. 6. 16.
[단위공정/Etching] 건식식각의 종류 2022. 2. 5.
[단위공정/Deposition] 진공기술과 주요 물리량 2022. 2. 5.
[단위공정/Deposition] 진공펌프의 종류 4가지와 동작 매커니즘 Cryo pump는 증기압 차이를 이용하여 한 펌프내에 다양한 물질을 동시에 응축시킴 2022. 2. 4.
[단위공정/Deposition] CVD시 분자 운동식, Graph 물리량, 단위 Hg [Cm/s]: mass transfer coefficient Ks [Cm/s]: Surface reaction rate Cg [#/Cm3]: Bulk gas concentration Cs [#/Cm3]: Surface gas concentration F [#/Cm2•s]: Flux δ [Cm]: Boundary layer 2022. 2. 1.
[단위공정/Lithography] 영어 약자 정리 ADI (After Develop Inspection) : 현상 후 패턴 검사 검사항목 장비 CD, 패턴 SEM (Scanning Electron Microscope) Particle 이물질 카운터 (Particle Counter) 광학 현미경 (Optical Microscope) Overlay O/L 전용 장비 CD (Critical Dimension): 가장 작은 크기의 회로 선폭, 간격, 홀 크기 등 HM (Hard Mask) Resolution Improving Tech OAI (Off Axis Illumination) : 수직 입사 광원이 0차광 이상 집광하지 못해 보완하기 위해 빛 사입사시키는 것 PSM (Phase Shift Mask): 빛의 상쇄간섭을 일으켜 원하는 부분만 PR이 남아있게 .. 2022. 2. 1.
[단위공정/Lithography] 공정 Parameter 2022. 1. 26.
[단위공정/Lithography] PR의 종류 분류: 자외선 노광용 PR (Positive/Negative) KrF 화학증폭형 PR ArF 화학증폭형 PR 2022. 1. 26.
엔지닉 반도체 교육으로 반도체 8대공정 공부 후기 반도체 스터디를 시작한지 일주일이 지난 만큼 후기를 남겨본다. 이 스터디는 엔지닉에서 진행하는 반도체 스터디로 Winspec에서 제공하는 강의를 매일 2강씩 수강하고 데일리 미션을 통해 자신이 공부한 것을 스스로 확인하는 식으로 진행되었다. 1. 책 시중에 반도체 전공면접 책이 엄청 많지만 제공되는 강의는 '반도체 전공면접 합격의 모든것' 이라는 책 기반으로 진행된다고 했다. 처음에는 그냥 사라고 해서 샀는데 화면에서 본 것보다 엄청 두껍고 내용도 알차게 들어있어서 좋았다. 특히 교재 앞부분의 주요 반도체 기업의 최신 합격자 스펙분포와 기업정보들이 나와있는데 취준생들이 아마 가장 궁금해하고 관심갖는 정보일 것이기 때문에 책을 잘 구성했다는 생각이 들었다. 그 외에 내용적인 측면에서도 설명도 자세하고 그림.. 2022. 1. 16.
[반도체공학] 저준위 주입(Low-level Injection), 소수캐리어 확산방정식 책마다 증명 과정이 다르기도 하고 저준위주입에 대해 찾아봐도 참고할만한 글이 많이 나오지 않았다. 그 와중에 책은 번역투가 어색해서 이게 뭔말인가 하고 한참을 혼란스러워하다가 지금 안해두면 다음번에 또 까먹을 것 같아 정리했다 저준위 주입(Low-level Injection) 수식써놓고 그림만 그려두면 또 까먹기 부지기수라 글로 구구절절 썼다.. 소수캐리어 확산방정식 (Minority Carrier Diffusion Equation) 예제 독학 참고하기 좋은 유튜브... (인도 강의 추정) https://youtube.com/c/techgurukula techgurukula www.youtube.com 공식 증명 과정 안보면 죽어도 이해못하는 뚝배기라 도움이 많이 됐다. 판서도 깔끔하고 내용 생략 안하고.. 2021. 10. 26.
[반도체공학] 홀 효과 (Hall effect) 반도체의 물성을 알아보고 싶을때, 샘플에 수직방향으로 자계를 가하면 물리적 현상들에 의해서 많은 물리량을 알 수 있다. 처음에 좀 헷갈려서 시각화를 해보았다 P형 반도체 N형 반도체 전자의 전하량은 음수이기 때문에 q(VxB)는 외적 방향과 부호가 반대라는 점을 유의해야 한다. (그림 출처: Robert F. Pierret, semiconductor Device Fundamentals) 정상상태에서는 두 힘이 평형을 이뤄 알짜힘=0이 될 것이다. 1. AB사이의 전위차 2. 전류밀도 를 잘 정리해서 E=VB에 대입 후 정리한다. 그리고 저항=비저항*(길이/단면적) 과 옴의법칙을 이용하면 비저항 값까지 구할 수 있다 비저항값을 이용하면 Conductivity, mobility 까지 구할 수 있다 R_H는 .. 2021. 10. 25.
[반도체공학] 반도체 소자공학 1장 문제 풀이 2021. 9. 25.