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[단위공정/Etching] 건식식각의 종류 2022. 2. 5.
[단위공정/Deposition] 진공기술과 주요 물리량 2022. 2. 5.
[단위공정/Deposition] 진공펌프의 종류 4가지와 동작 매커니즘 Cryo pump는 증기압 차이를 이용하여 한 펌프내에 다양한 물질을 동시에 응축시킴 2022. 2. 4.
[단위공정/Deposition] CVD시 분자 운동식, Graph 물리량, 단위 Hg [Cm/s]: mass transfer coefficient Ks [Cm/s]: Surface reaction rate Cg [#/Cm3]: Bulk gas concentration Cs [#/Cm3]: Surface gas concentration F [#/Cm2•s]: Flux δ [Cm]: Boundary layer 2022. 2. 1.
[단위공정/Lithography] 영어 약자 정리 ADI (After Develop Inspection) : 현상 후 패턴 검사 검사항목 장비 CD, 패턴 SEM (Scanning Electron Microscope) Particle 이물질 카운터 (Particle Counter) 광학 현미경 (Optical Microscope) Overlay O/L 전용 장비 CD (Critical Dimension): 가장 작은 크기의 회로 선폭, 간격, 홀 크기 등 HM (Hard Mask) Resolution Improving Tech OAI (Off Axis Illumination) : 수직 입사 광원이 0차광 이상 집광하지 못해 보완하기 위해 빛 사입사시키는 것 PSM (Phase Shift Mask): 빛의 상쇄간섭을 일으켜 원하는 부분만 PR이 남아있게 .. 2022. 2. 1.
[단위공정/Lithography] PR의 종류 분류: 자외선 노광용 PR (Positive/Negative) KrF 화학증폭형 PR ArF 화학증폭형 PR 2022. 1. 26.
엔지닉 반도체 교육으로 반도체 8대공정 공부 후기 반도체 스터디를 시작한지 일주일이 지난 만큼 후기를 남겨본다. 이 스터디는 엔지닉에서 진행하는 반도체 스터디로 Winspec에서 제공하는 강의를 매일 2강씩 수강하고 데일리 미션을 통해 자신이 공부한 것을 스스로 확인하는 식으로 진행되었다. 1. 책 시중에 반도체 전공면접 책이 엄청 많지만 제공되는 강의는 '반도체 전공면접 합격의 모든것' 이라는 책 기반으로 진행된다고 했다. 처음에는 그냥 사라고 해서 샀는데 화면에서 본 것보다 엄청 두껍고 내용도 알차게 들어있어서 좋았다. 특히 교재 앞부분의 주요 반도체 기업의 최신 합격자 스펙분포와 기업정보들이 나와있는데 취준생들이 아마 가장 궁금해하고 관심갖는 정보일 것이기 때문에 책을 잘 구성했다는 생각이 들었다. 그 외에 내용적인 측면에서도 설명도 자세하고 그림.. 2022. 1. 16.